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扫描电镜即扫描电子显微镜(scanning electron microscopy,SEM)。扫描电子显微镜主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态,即用极狭窄的电子束去扫描样品,通过电子束与样品的相互作用产生各种效应,其中主要是样品的二 次电子发射。二次电子能够产生样品表面放大的形貌像,这个像是在样品被扫描时按时序建立起来的,即使用逐点成像的方法获得放大像。
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扫描电子显微镜(scanning electron microscope)的简称,通过加速电子束轰击样品表面来激发各种信号,如二次电子、背散射电子、俄歇电子、特征X射线等,通过各种接收器可以提取出这些信号,最终得到一系列的图像和数据。