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玉米大叉叉
EUV（极端远紫外光源，Extreme Ultraviolet 略称）光刻，是使用通称极端远紫外光源的极短波（13.5 nm）光线的光刻技术，能够加工至既有 ArF 准分子激光光刻技术不易达到的 20 nm 以下精密尺寸。请采纳，谢谢
郁敏0729
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